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设备组成
系统主要由真空石英管组件、双向进出样真空室组件、样品加热组件、自动推拉台组件、气路组件、加热控温组件、安装台架、水冷系统等组成。
技术参数：
| 系统产能 | 年产20万平方米 |
| 真空室 | 由石英管和不锈钢真空组成，三腔体、双向进料结构，石英管采用直线形，水平安装，设有水冷装置，石英管尺寸Φ455x2900mm |
| 真空系统配置 | 复合干式真空泵（JGM-1000A）、数显真空计、进口阀门、宽量程自动控压功能等 |
| 真空系统配置 | 分子泵、机械泵、宽量程数显真空计、阀门等 |
| 样品测温组件 | 采用热电偶方式 |
| 加热电源 | 感应加热可以控温，额定输出功率 60KW，平稳运行30KW，采用外加热方式，基体加热温度 室温～1000℃升温速率 40～50℃/min |
| 进出样系统 | 腔体尺寸3720x690x690mm，自动进出料，快速冷却 |
| 工作气路 | 进口气路，共四路：二路烷类、一路氢气、一路氮气，不锈钢管路 |
| 自控系统 | 工控机（触屏）+PLC主控单元，双保险设计，保证工艺的稳定性及可靠性 |
| 工作台尺寸（开门） | 400x1000mm |
