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极超高真空UHVXHV设备 国家大科学工程设备
设备用途
极限真空度:5.0×10- 8 Pa电子储存环能量:3.5 GeV光子能量:0.1~40 keV
前段区
前端区是连接储存环的第一个部件,储存环提供静态真空隔离和动态真空保护,避免光束线真空泄露发生灾难性事故;屏蔽有害的高能辐射,保护储存环大厅和实验站工作人员免受人身伤害;吸收多余的辐射功率,防止各种元件因过量热载而破坏;规范辐射光源的窗口,提供与光束线相匹配水平和垂直张角的光束。
前端区主要由活动光屏、固定光阑、气动阀门、快速反应阀、水冷光闸、安全光闸等组成。
光束线
光束线及前端主要应用于加速器储存环与实验站之间。对从储存环引出的辐射光进行分束、冷却、单色、聚焦、准直,满足试验要求的能量光范围、光子能量、分辨本领、束斑大小及微区能量扫描。
光束线主要由单色仪、聚焦反射镜箱、束流位置探测器、精密可调狭缝、水冷光闸、差分抽气系统和铍窗等组成。
核心科研装置
超高/极高真空校准装置
技术参数:极限真空达 10-10 Pa,采用磁悬浮涡轮分子泵与非蒸散型吸气剂泵组合,突破极小漏孔检漏与不规则小孔流导测量技术。
应用领域:航天器空间环模、粒子加速器(如正负电子对撞机)、纳米技术,确保真空量值精确性与设备可靠性。
创新成果:填补国内空白,获20018年国家科技进步一等奖,支撑卫星安全飞行与核工业发展。
聚变堆真空室系统
结构设计:D型双层壳体,厚50mm超低碳不锈钢,总高20米,重295吨;未来8个模块组合成全环形真空室,容纳上亿度等离子体。
功能突破:为聚变堆提供核安全屏障,保障超导磁体与等离子体运行,精度与焊接技术达国际先进水平。
衍生应用:技术拓展至粒子加速器、半导体制造,形成10余项专利。
综合极端条件实验装置
多极端环境集成:在极低温(1mK)、超高压(300GPa)、强磁场(26T)、超快光场(100阿秒)条件下兼容UHV环境。
科学产出:支持分数量子霍尔效应、超导量子计算等研究,实现无液氦稀释制冷机国产化。
开放共享:年提供机时超20万小时,服务全球科研机构。
关键技术参数对比
装置名称 | 极限真空 | 核心材料/技术 | 特殊功能 |
超高/极高真空校准装置 | 10-10 Pa | 磁悬浮分子泵+NEG泵 | 流量分流法校准 |
“夸父”真空室 | 聚变级超高真空 | 超低碳不锈钢(50mm厚) | 抗亿度等离子体辐射 |
综合极端装置 | UHV兼容 | 多系统集成 | 四极端条件同步调控 |
上海光机所UHV系统* | <10-7 Pa | 超低磁316L不锈钢 | 五维位移台(±10μm精度) |
关键技术突破与设备参数对比
设备名称 | 真空级别 | 关键技术参数 | 应用领域 |
ADS 真空阀门系统 | UHV | 漏率 ≤10-10 mbar·L/s,抗辐射 108 Gy | 核废料嬗变 |
Nano-X 互联实验站 | UHV | 203米管道,40+设备互联,底压 <10-8 mbar | 纳米材料/半导体 |
EUV 光刻真空系统 | UHV | 5.8×10-7 Torr,工件台稳定性 ±0.1 nm | 光刻机研发 |
HIAF 高频真空室 | XHV | 薄壁设计,抗束流扰动 | 重离子加速 |
UHV/XHV校准装置 | XHV(10-10 Pa) | 分流法校准,不确定度 1.5%–3.5% | 真空计量标准 |
创新方向与挑战
材料极限突破
聚变堆真空室需耐受高温粒子辐照与热应力,合肥团队通过超厚不锈钢焊接工艺解决变形问题。
怀柔装置实现26T强磁场下无液氦冷却,降低运行成本。
跨领域技术融合
真空校准装置中的分流法被粒子加速器采纳,提升束流稳定性。
聚变真空室遥操作技术移植至半导体设备精密装配。
国产化进程
非蒸散型吸气剂泵(NEG)、磁悬浮泵等核心部件打破国际垄断。
超高真空阀门、密封件实现自主设计,成本降低40%。
战略价值总结
能源安全:支撑“人造太阳”聚变工程与四代核电(如高温气冷堆)。
量子科技:为拓扑物态、超导计算提供纯净实验环境,催生原创成果。
工业升级:半导体镀膜、航天器件测试依赖高精度真空,直接提升产业链水平。当前GRANDE极超高真空技术已进入国际第一梯队,未来聚焦 聚变能源商业化 与 量子器件制造,推动大科学装置向产业端渗透。