超高真空互联装置

设备用途

用于真空制备设备、真空检测设备、真空分析设备等工作室之间的样品在高真空或超高真空环境中的传递。可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备、分析检测。

设备组成

主要由进样室、过渡室、传输室、小车转向室、样品加热除气、样品等离子清洗、传输小车、磁力传递机构、抽气系统、真空测量、电控系统、计算机控制系统及安装机台等部分组成。
技术参数：

		HLD-150
技术指标
真空室	进样室	方形结构，尺寸360x220x360mm
	过渡室	圆筒卧式结构，尺寸Ф150x700mm
	传输室	圆筒卧式结构，尺寸Ф150x3000mm
	小车转向室	圆筒立式结构，尺寸Ф550x600mm
真空系统配置		离子泵、复合分子泵、机械泵、气动闸板阀、真空计
极限压力	进样室	≤5.0x10^-6 Pa（经烘烤除气后）
	过渡室	≤2.0x10^-8 Pa（经烘烤除气后）
	传输室	≤2.0x10^-8 Pa（经烘烤除气后）
恢复真空时间	进样室	30分钟可达6.7x10^-5Pa（短时间暴露大气并充入干燥氮气后开始抽气）
	过渡室	与进样室交接后10分钟≤5x10^-7 Pa与传输室交接后5分钟≤5x10^-8 Pa
样品传输小车		一个，可装载3个Ф2英寸样品
样品预处理		对样品300℃加热烘烤、高压等离子清洗
进样室样品库		可一次放进3块样品
传输小车		计算机控制、速度可调、配备小车跟踪系统、样品跟踪系统
小车转向室		一次可放进二个小车,可把小车传入任意支线
计算机控制系统		采用PLC+工控机+触摸屏全自动控制方式
样品与工作室交接		电动磁力传递机构实现